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当前suo在位置: 首页 ? 技术问答 ? 无尘室中化学pingong给、hui收系tong管道

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时jian:2020-08-05  来源:车jian净化工程|食pin净化车jian|洁净蕑hi跏襹洁净实yan室-jinan金贝yu乐下zai净化工程you限公si  浏览次shu: 36 次
文zhang简jie:无尘室中化学pingong给、hui收系tong管道, 半导体芯pian工厂使用的化学pin,主要是各类酸、碱和you机体液,酸、碱液体的gong给、hui收系tong管lutong常是采用?PFA?管材及其管件zu成。PFA即聚四氟乙xi,其管材柔萾uo院谩⒖赏鋛u、外guan透明

半导体芯pian工厂使用的化学pin,主要是各类酸、碱和you机体液,酸、碱液体的gong给、hui收系tong管lutong常是采用?PFA?管材及其管件zu成。PFA即聚四氟乙xi,其管材柔萾uo院谩⒖赏鋛u、外guan透明。PFA?管道具youyou詊iang哪退帷⒓罡葱yue埽还艿滥诒诠饣⒛蚼o、洁净,是理想的化学药pin输送材liao。以往,国内大规模ji成dianlu线suo需的化学pingong给、hui收系tong管道完quan由海外公si承揽施工,随着国内?IC制造业的发展,国内一流的?IC工厂建she公si已jing开始打po这一ju面,涉足该系tong的施工。

1?系tongzu成

化学药pin的输送管道由liangcengzu成:内管和外套管。内管采用?PFA?管,用于输送药pin;外套管采用透明的?PVC?管套于内管外部,用于bao护、硏ingxin诠芎头纙hi药液讁ue诠苄筶ou时对fu近产生危害。在某些情况下,外套管也you采用不锈竮hi苤苲uo的。

2?安装形式

PFA?管的安装形式youliang类:1、chuanshe安装;2、篺u影沧啊O旅娣謆iejieshao。

2.1?chuanshe安装

PFA?管的chuanshe安装,一般用于zigong给单元xiang使用点输送药pin的管lu,连接的PFA管道规格一般为1/4?英寸~1?英寸,管材采用成卷的PFA?管,chu三tong、阀门及yushe备连接处you接口外,均为整根内管连接,这种安装fang式类似dian纋u髎he。

2.1.1?系tong构成

该系tong由gong给单元、三tong箱、阀门箱、用药she备、药pingong给管luzu成,jiantu1。

无尘室中化学pingong给、hui收系tong管道

A?:药pingong给单元,she于化学pingong给jian,xiang用药she备gong药。

B:阀门箱?MVB(multifold valve box),she于洁净室下夹ceng,用于分送药pin。

C:用药she备,she于洁净室动li区huo工zuo区,为系tong终duan。

D:三tong箱(T - B O X),she于gong给管lu上,透明PVC?板制成,用于bao护PFA?三tong,you检修盖及排液阀。

E:gong药管lu,由外套管及内管zu成,ziAjingB(D)到Czhi。用于输送药pin。

2.1.2?安装流程

一次配管:如tu2suo示,zigong给单元至阀门箱的配管为一次配管。

无尘室中化学pingong给、hui收系tong管道

二次配管:如tu3suo示,zi阀门箱至用药she备的配管为二次配管。

无尘室中化学pingong给、hui收系tong管道

2.1.2.1?支架制安

根ju外套管规格进行支架制安,安装应牢固,謆i叨蚊?4 m?及转弯处,bixushe置防晃支架,支架jian距如表1。

无尘室中化学pingong给、hui收系tong管道

2.1.2.2?外套管安装

a .?透明PV C管,弯头采用成pin弯头(R>4D),huoli用烘箱现场煨制(R > 4D),弯头及直管均采用直二tong粘接,如管耭ang铣ぃㄖbi叨纬琯uo20 m),huo连续chu现多处转弯,则应在适当处she置活接头(其yu管道连接fang式为胀接),以便在chuanshe内管时you助于chuan管。管luyu三tong箱、she备的连接,均采用活jie头胀接,拆卸fang便。管道粘接剂bixu采用指定的pin种。由于管道内部会因粘接剂的挥发气体产生一定的内压,故刚完成粘接的管lu不封闭,应bao持开fang状态24 h~48 h,以防接口被内压胀裂。

b.?不锈钢外套管,这类管lu不she三tong,zigong给单元至阀门箱jinyou一lu管道。弯头采用冷弯煨制(R>4D),huo成pin弯头(R>4D),弯头yu直管连接huo直管yu直管的连接,均采用不锈钢直二tong套筒承插后yahu篺u樱艿纘ushe备的连接均采用法lan连接,直管段在适当处she置法lan,以助内管chuanshe。

2.1.2.3?外套管shi压

上shu二种外套管施工完成后,即可进行压lishiyan,shiyan压li为1000 mmHg,tong常以瓶装氮气为shiyanjiezhi,bao压30 min,以不jiang压为合格。

2.1.2.4?内管安装

外套管shi压完成后,即可进衳in诠躢huanshe。内管为整卷的PFA管,zigong给单元至三tong箱、zi三tong箱至阀门箱、zi阀门箱至用药she备的内管,各zi均为一根整管贯chuan,中jian不she接头。chuan管时以引线牵引内管前行,当内管chuanchu后,将多余部分ge去,进行管道yu三tong、she眆u涌诘牧印R话悴捎胟uo口胀接,可采用冷kuohuorekuo口二种fang式,将PFA管duan口kuo大,形成yong久bian形,tongguo紧固螺膄u玨uo口接口yu对fang接口锁紧。对fang接口一般为短管,其外部形态恰好yukuo口管内部wen合,故当紧固螺母牵引kuo口套紧在接口上后,便形成密封。

PFA?管道使觤en熬ao持yuan塑liao包装完好,bao硓hi艿赖慕嗑唬褂胓uo程中,应尽可nengjian少管口暴露在空气中的时jian,如暂时停工而未zuo管口连接,则应立即封闭管口,凡接触PFA管者,均应dai洁净手套,不得裸手触摸。

2.1.2.5?内管shi压

管道接口完成后,可做内管shi压,强度shiyan压li为1.5?倍的工zuo压li,测shi时jian为3 h,不得jiang压;严密性shiyan压li为1.15倍的工zuo压li,测shi时jian为24 h,在确认无泄lou后,压libian化±3%?襶ue谖细瘛2鈙hijiezhi采用纯氮气体。

2.1.2.6?系tong清洗

内管压lishiyanquan部完成后,可进行系tong清洗,采用纯水及相应的化学药pin,沿药pingong给流. 100 .?洁净yu空调技术CC&AC 2012年动的fangxiang冲洗内管,zi阀门箱chu口排fang到lin时储药桶,反复冲洗直到测shi合格。

2.2?篺u影沧?/p>

篺u影沧皊uo连接的管道规格为1/4英寸~2英寸的篺u觴ing?PFA?管材、管件,采用专用的?PFA?篺u踊泻fu樱瑈ushe备的连接tong常为法lan连接。这种类xing的管道,一般用于zi接受机台至药pin接收储罐的连接管lu以及zi药pin接收储罐至gong给单元的管lu。

2.2.1?系tong构成

该系tong由she于化学pin室的室内及外墙上的接受机台、化学pin室内的药pin接收储罐、gong给单元、药pingong给管luzu成,jiantu4。

无尘室中化学pingong给、hui收系tong管道

A:接收机台,置于化学pinjian的室内,tongguoshe于外墙上的接收窗,接收室外cao车药pin并将其注入药pin储罐内。

B:化学pin接收储罐,she于化学pinjian内,用于储cun药pin。

C:化学pingong给罐,she于化学pinjian内,zuo为gong给单元的储罐。

D:化学pingong给单元,置于化学pinjian内,用于xiang用药she备gong药。

E:药pingong给管lu,zi接受机台至药pin接收储罐的连接管lu以及zi药pin接收储罐至gong给单元的管lu,由外套管及内管zu成,外套管为透明PVC管,内管为篺u觴ing?PFA?管及其弯头zu成。

2.2.2?安装流程(jiantu5)

she备jiu位固定bixu符合she计要求及youguan规范要求,she备jiu位固定完成后fang可进行配管工zuo。

无尘室中化学pingong给、hui收系tong管道

2.2.2.1?支架安装

要求yu前文一致。

2.2.2.2?内管安装

a.?内管采用红外加re法篺u樱冉玠ai焊的liang个duan口duan面相对固定于篺u觭he备夹具上,焊机夹具nengbao持dai焊管道tongzhou,在liang个duan口之jian的空隙jianyou一kuai双面加re板,tongdian加re时并不yu管道duan面接触,而是tongguorefu射时管道duan面达到熔化温度,当管duan达到熔融状态时移去加re板,将liang个duan面对接并施加一定压li,使熔化物流动形成混合yu熔接。管道yushe备、阀门的连接均采用法lan连接fang式。

b.?操zuo要点:(1?)篺u硬賨uo场suo应bao持清洁、干燥,并具you良好的tong风she备(PFA管祃an觬e时会产生you害气体);(2)应避免使加re板接触礿iao讣uan面,这样会导致板面污损,影响加rezhi量;

(3)篺u邮眀ixubao持接口tongzhou,不得错位;(4)始终bao持?PFA?管祃an捌鋐u件清洁;(5)qiege管道应采用专用ge刀。

2.2.2.3?外套管安装

外套管安装紧随内管篺u咏校趖ong一謆i叨文冢诠艿闹惫芎fu油阞i后,随即将其外套管套上,外套管的连接采用直二tong承插粘接,具体要求tong前suoshu,外套管的弯头为成pin承插弯头,R=1.5D,dai内管的弯头篺u油瓿珊螅馓坠艿某胁逋渫范猿po饰猯iang半,然后将其扣于内管弯头外,再用re风焊机将对剖缝篺u痈磞uan,篺u觙ang法tong普tongPVC塑liaore风焊,弯头承口yu直管仍然采用承插粘接。

2.2.2.4?管道的shi压和清洗

要求yu前文suoshu一致。

3?jie语

芯pian工厂化学pin系tong管道安装的首要要求是安quan可靠和系tong洁净,化学pin的危险性zhongsuo周知,配管工程bixu确bao内、外套管的严密性,严禁泄lou;芯pian对药pin的纯净要求极高,不允许在管道系tong输送guo程中被污染,如chu蟴hi艿老祎ong污染,则为不可逆事故,管道系tong将拆chu重she,箂hi谑┕uo程中bixu加强监管、检yan,严格执行工yi要求,确bao系tongpinzhi。

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