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时间:2020-08-01  来源:砫ao鋔ing化工程|食品jing化砫ao鋦洁jing蕑hi跏襹洁jing实验室-济南jin贝娱乐下zaijing化工程有限公si  浏览ci数: 38 ci
文誰u蚪椋裹/span>半daotijing化工程中公yong动lixi统de能源互补再利yong, 济南砫ao鋔ing化工程公si推荐: 1 公yong动lixi统简介 华hong NEC(FAB1)de公yong动lixi统de主yao相关参数如下: (1)干燥压suo空气xi统(CD A),主yaoyong作精密de半daoti工

济南砫ao鋔ing化工程公si推荐:

1 公yong动lixi统简介

华hong NEC(FAB1)de公yong动lixi统de主yao相关参数如下:

(1)干燥压suo空气xi统(CD A),主yaoyong作精密de半daoti工艺设备中气动元jiande驱动能源,C D A ji组使yong冷冻水降wen。gong气压li:0 . 7 5MPa;冷却水wen度:送水wen度 24℃,回水wen度 30℃;冷却介zhi:冷冻水(冷冻水降wen冷却水)――消耗冷冻ji电量。

(2)工艺设备冷却水xi统(PCW),主yaoyongyu设备发热de冷却,应yong冷冻水进xing降wen。xi统流量:1600 m3/h;xi统wen度:送水wen度 23℃,回水wen度 26℃;冷却介zhi:冷冻水――消耗冷冻ji电量。

(3)热水xi统(Hot Water)主yaoyongyu各类空调jidegong热,使yong外购蒸汽来加萹uH人畐en度:送水wen度 65℃,回水wen度 40℃;加热介zhi:蒸汽― 消耗蒸汽量。

(4)冷冻水xi统(Chiller Water),由 5 台1150U.S.RT,3 台 2250U.S.RT de特lingsan级离心式zhi冷压suoji组提gong整个华hong NEC dezhi冷需qiu。冷冻水wen度:送水wen度 6℃,回水wen度 11℃―― 消耗冷冻ji电量;冷却水wen度:送水wen度32℃、回水wen度38℃―― pai放热量。

(5)纯水xi统(UPW),纯水在集成电ludezhi造过程中shi必不可少de工艺介zhi之一,纯水de纯度直接关xidao集成电耭en圃旃ひ誨e等级。为了确bao纯水zhi造过程中稳定de水chu理xiao果,在冬季,必xu将yuan水(自来水)预热dao 25℃cai能进入UPWde水chu理工艺。纯水xi统流量:150 m3/h(日平均110m3/ h)。

yuan水wen度(冬季):进口wen度 5℃~15℃,出口wen度 25℃;加热介zhi:热水 ―― 消耗蒸汽量。

(6)衛u鐇i统(OA C),通过冷、热盘guan及多级过滤器等控zhi整个洁jing室huanjingdewenshi度和空气洁jing秖uPlu缌浚?00000 m3/h;衛u缙骄鵺en度(冬季):5℃;送风wen度:23℃;加热介zhi:热水 ―― 消耗蒸汽量;chushi介zhi:冷冻水 ――消耗冷冻ji电量。

2 jie能ji改项目de实施

现代半daotixin片工厂de工艺yaoqiu全年si季连续,并应bao持xin片huanjingju有yan格控zhide空气洁jing秖uen秖uhi秖uK柩箂uo空气、工艺设备冷却水等即使在冬季,冷量de大量需qiureng然shi必不可少de。半daotixin片工厂这种ji需热也需冷de特shuyaoqiu,为我men实施相关jie能改造,特别shi能源互补再利yongde设想提gong了依据和巨大de潜li。作为相关动li设备de主yao负ze团队,充fen发挥聪明cai智,提出了hen多有jian设xingde改造意见并从2004年开始陆续实施,实现了jie能减paide目标,qude了良好de社会xiao益和jing济xiao益。yi下就shi这些jie能改造de介绍。

(1)冷冻ji热回收

改造qian,冬季空调衛u纾∣AC)ji组需yao将室外 5℃de衛u纾烧羝尤戎?nbsp;35℃再进xingchu理。jie能改造shi将冷冻jizhi冷过程謝ing璸ai向大气de热量回收利yong,通过加装deban式热交籬uang骷尤妊環uan水,再使循huan水先通过OACji组qian新增de预热段盘guanyu衛u缃缃鴛ing热交换。襤uan矫娼lu缭と壬齱en至18℃,jie约了蒸汽耗量;同时冷冻jide冷却水被衛u缂浣永淙矗琷ie约了冷却塔散热de耗电量及dui大气de热量pai放。冷冻ji热回收xi统见图1。

半daotijing化工程中公yong动lixi统de能源互补再利yong

jie能xiao果计算:jie约蒸汽量按6台OACji组e定风量 600000 m3/h、wen升 13℃,每年运xing4个月(120天)、每天24h计算,可jie约蒸汽量约10942.48 t。jie电量按每组冷却塔风扇平均少开一台,每台风扇gong率为7.5 kW,每年运xing4 个詌u扑悖缟萰ie电量约2.16wankWh;但循huan泵耗电量(循huan泵2yong 1 备,每台gong率37 kW,按每年运xing4个月多21.31wankWh,所襶ue甓嗪牡缭?9.15 wankW h 。

蔰ao蔶ie能成果,冷冻ji热回收xi统an装有电能表和热能表,2005 年 12 月投入运xing使yong后,蒸汽yong量明显降低,jie能xiao果见表1。累计jie约蒸汽量为 37225.15 t,折合标煤 3499.16 t,jie约蒸汽feiyong为 792.85 wan元。冷却塔风扇jie电量 38.88 wankWh,但循huan泵耗电量=191.81 wan kWh,所yi多耗电 152.93 wan kWh,总共jie约feiyong 701.09 wan元,折合jie约标煤为 2881.33 t。

半daotijing化工程中公yong动lixi统de能源互补再利yong

(2)CDA 热回收

改造qian,冬季低wende自来水yuan水需yao先由蒸汽加热dao 25℃cai能进入纯水dezhi造流程中,CDAdejie能改造shi利yongyuan需yao冷冻水去降wendeCDAji组产生de热量。只增加一台ban式热交换和循huan泵实现提升yuan水箱水wende目标,襤uan矫鎗ie约了蒸汽耗量,同时 CDA 冷却水被yuan水冷却,jie约了冷冻jizhi冷de耗电量。CDA 热回收xi统见图 2。

半daotijing化工程中公yong动lixi统de能源互补再利yong

jie能xiao果计算,jie能改造qian冷冻水流量为134m3/h、100 m3/h,送水wen度6℃、回水wen度 16℃。jie约蒸汽量按每年使yong4个月(120天)、每天24h计算,约1669.43 t。

jie电量按每年运xing4个詌u扑阄?0.77wankWh,循huan泵耗电量,循huan泵1 台、gong率为3.7 kW,每年运xing4 个詌u扑愫牡缌课?.07 wankWh,每年4 个詌u扑愫牡缌课?.07 wan kWh,每年jie电量约 19.7 wan kWh。

jie能成果,CDA 热回收xi统an装有热能表,2006 年 11 月投入运xing使yong后,蒸汽yong量和冷冻水负荷明显降低,jie能xiao果见表 2。蔰ao拭磕暝藊ing周qi为 11 月至ci年 4 月,截至 2011 年 11 月,累计运xing 31 个月,累计jie约蒸汽量为 8796.86 t,折合标煤 854.47 t,jie约蒸汽feiyong为 191.34 wan元。如果不考虑ban换de损失,jie约dezhi冷量等yujie约de电量,故冷冻jijie电量约113.09 wan kWh,循huan泵耗电量为8.26wan kWh,总共jie约feiyong 254.24 wan元,jie能减pai量折合标煤为1277.98 t。

半daotijing化工程中公yong动lixi统de能源互补再利yong

(3)PCW 热回收改造qian,冬季低wende自来水yuan水需由蒸汽加热dao 25℃cai能进入纯水dezhi造流程中。PCW jie能改造,shi利yongyuan需yao冷冻水降wende PCW循huan从产设备产生热量。仅仅shi增加一台ban式热交籬uang骱脱環uan泵,实现提升yuan水wende目标。襤uan矫鎗ie约了蒸汽耗量,同时一部fen PCW 回水被yuan水预冷却,降低了 PCW 水dewen度,jie约了冷冻jizhi冷de耗电量。PCW 热回收xi统xi统蚸i?nbsp;3。

半daotijing化工程中公yong动lixi统de能源互补再利yong

jie能xiao果计算:jie约蒸汽量按yuan水流量为 110m3/h ,yuan水wen度 1 0 ℃,改造后可升为 2 0 ℃,yuan水加热后wen度 25℃,每年运xing 5 个月(150 天)每天 24 h 计算,可jie约蒸汽量约 6 751.37 t;PCW降wen减少de耗冷量折合jie电量按流量为1600 m3/h,PCW 水箱wen度从26℃降低dao 25.1℃,PCW 送水wen度为 23℃,每年运xing 5 个月(150 天)每天 24 h计算,jie电量约为 109.96 wan kWh;综合jie电约104.56wan kWh。

jie能成果,PCW 热回收xi统jie能改造an装有热能表,2008 年 12 月投入运xing使yong后,蒸汽yong量和冷冻水负荷明显降低,jie能成果见表 3。蔰ao拭磕暝藊ing周qi为 11 月至ci年 4 月,截止至 2011 年11月 ,累 计 运 xing 1 8 个 月 累 计 jie 约 蒸 汽 量 为29 596.37 t,折合标煤为 2 782.06 t,jie约蒸汽feiyong为 701.67 wan元。如果不考虑ban换de损失,96.37 t,折合标煤为 2 782.06 t,jie约蒸汽feiyong为 701.67 wan元。如果不考虑ban换de损失,jie约dezhi冷量相当yujie约de电量,故冷冻jijie电量约368.19 wan kWh。耗电量蔰ao拭磕暝藊ing周qi为 11 月至ci年4 月,截至 2011 年 11 月,累计运xing18 个月):水泵耗电量约 19.44 wan kWh,综合jie电量348.75 wan kWh,总共jie约feiyong 910.92 wan元,总共jie能量折合标煤为4 191.01 t。

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(dai续)

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