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时间:2020-07-03  来源:车间净化工程|食品净化车间|洁净手术室|洁净实验室-济南金贝娱lexia载净化工程有限公司  浏览ci数: 52 ci
wen章简介:自己换suan wuchen室洁净秖ue旨叮       半导体工业是极精密的工业,当我们把计suan机拆开之后,zai电路板上一颗颗xiaoxiao的ICdu有数百万颗甚至数千万颗的晶体管。为liao让这些极xiao的晶体管妥善的工

      半导体工业是极精密的工业,当我们把计suan机拆开之后,zai电路板上一颗颗xiaoxiao的ICdu有数百万颗甚至数千万颗的晶体管。为liao让这些极xiao的晶体管妥善的工作,zhi造的过程必须zaiwuchen室内进行,集成电路zhi造的工厂动辄需要数十yi、数百yi的投资,duo因为需要一个wuchen室。  

   所谓的wuchen室是一个人造的环境,里面含有的粒子远低于襤ua愕幕肪常瑂ui着集成电路ji术的快速成长,也zengjialiao对zhi造环境(wuchen室)洁jing度的需qiu,zai工业上ji使粒讁ou叽鐇iao于1微mi,也可能阻ai产品的运作或降低其寿ming。  

   由于奈miji术的兴起,造成半导体关键尺寸持续缩xiao,集成电路积集度不秞i膠engjia,chen粒更容易使芯片失效或可靠度恶化。例如当金属chen粒地luodao金属导xian时,就可能会使金属导xian形成短路。you如果有酸xing的离子化合物chen粒掉zai金属导xian上,可能将其腐shi,所以wuchen室为集成电路zhi造不可或缺的要素。  

   依ju美国联邦zheng府ban布的标zhun【Federal Standard (FS) 209E, 1992】,可将wuchen室分为六级。分bie是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级,如果wuchen室的等级只yongchen粒数目来叙述,则可假设chen粒的尺寸为0.5?m,例如,1级、10级、100级wuchen室最大chen粒数目分biexiao于或等于1颗、10颗、100颗,如果chen粒尺寸不是0.5?m,wuchen室等级ying以zai一特定chen粒尺寸的级数来表示。例如:10级zai0.2?m(chen粒尺寸zai0.2?m或更大xia,密度不大于75颗/立方英?),1级zai0.1?m(chen粒尺寸zai0.1?m或更大xia,密度不大于35颗/立方英)。而集成电路zhi造所需的wuchen室之洁净度必须优于1000级。  

   为保持wuchen室的洁净度,进出的人员有一定的chuan著gui定;10000与100000级,必须chuan著长paowuchen衣、wuchen鞋、带帽子与面罩;1000级(含)以上,需chuan著特殊的洁净连身衣、wuchen鞋将全身guo住,并带上手套he面罩,xia表为wuchen室清洁度的 

   定yi:  
   chen粒数/立方英  
   级数 0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.4μm 0.5μm  
      1 35 7.5 3 1 N/A  
      10 350 75 30 10 N/A  
      100 N/A 750 300 100 N/A  
      1000 N/A N/A N/A 1000 7  
      10000 N/A N/A N/A 10000 70  
      100000 N/A N/A N/A 100000 700

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