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时间:2020-04-26  来yuan:砫ao鋔ing化工程|食品jing化砫ao鋦洁jing手术室|洁jing实验室-济南金bei娱le下载jing化工程有限gong司  浏览次数: 85 次
文章简jie:bandao体芯片厂使yongde过滤器,      bandao体芯片厂使yongde过滤器    dang今,bandao体芯片厂对环境kong气洁jing度最tao剔,对kong气过滤器de要求也最苛刻。zhan在芯片上defen尘可能造成断路、

     bandao体芯片厂使yongde过滤器 

  dang今,bandao体芯片厂对环境kong气洁jing度最tao剔,对kong气过滤器de要求也最苛刻。zhan在芯片上defen尘可能造成断路、短路而直接影响成品率。 
  heng量芯片集成度de指标zhi一是“线宽ao醇傻缏飞蟙ao线de宽度。在线宽以微米计算de年dai,制造环境对fen尘粒径de限制是小于线宽de1/10,随着线宽不断变小,1/10zhi说又变成liao1/4、1/2。2002年,普通微机中P4处理器de线宽缩小到liao0.13μm,此时任何fen尘都可能损害电路,粒径与线宽dechuan统比较过时liao。 

  芯片厂chuan统de通风xingshi是“大循环aodao鋎e整个天花板上布满无隔板高效过滤器,整个di面为回风栅板。xian在芯片厂觴ing┏dao涫箉ong讁uan缁鷇e高效过滤zhuang置(FFU,FanFilter Units)。大循环和FFU两种xingshi都能达到zugoude洁jing度,只是在运xing管理和能耗上有所cha异。 

  能糵ang酒e高效过滤器和FFU秊ia鹛ㄉ璨鈙hi。芯片厂认为,chuan统检验fang法yongdeshi验fen尘本身jiu是污ranyuan,所以芯片厂不mai钠焰法和DOP法de帐。 
  kong气中de海盐li讁ou撬械缱庸ede大敌,但海盐fen尘de颗粒比较大,普通过滤器jiu能jiang其qing除。有人说电子工yede理想didianying该远li海岸,可国内芯片厂jiujian在liao经济发达de沿海di区,在过滤器上duo花dian钱jiu是liao。
 
  芯片厂tebie在意过滤器上可能de微量挥发元素。近几年出xianliaoju四氟乙烯PTFExian维高效过滤cai料,这种cai料mei有挥发物,但它带静电,过滤houdekong气要进xing电中和以xiao除kong气中deli子,少liao个yin患,duoliao个ma穋hangD縬ianPTEE高效滤caide价ge偏高,绝大部分高效过滤器仍使yongchuan统de玻xian滤纸。高效过滤器上可能de挥发物主要来yuan于制造过程中使yongdezhan结剂、qing洗剂、shi验fen尘、辅助cai料、为芯片厂供货de过滤器厂商要在避免微量挥发物上下些功夫。 

  但dang芯片de线宽小到0.5μm蔮ao嗣欠iankong气中de化学污ran物成liao影响成品率de主要危害,于是,houjiande芯片厂kong调系统中普遍配置liao化学过滤器。芯片厂说de化学过滤器jiu是活性tan过滤器,它de原理和制造工yi并不fu杂。 

  化学污ran物de来yuan有:室waikong气、工yi本身、人、zhuang修cai料。duo数情况下,设计师和xianchang人员也说不qing污ran物de种类和浓度,yin此,芯片厂yongde化学过滤器ying具有两个tedian:guang谱吸附性能、zugouduode活性tancai料。所weiguang谱吸附jiu是对什me都能duo少吸附些,能有这种功能dejiu是最chuan统de、最便宜de、微孔尺寸大小不均de颗粒活性tan。ru果能确ding污ran物种类,jiu可对吸附cai料进xing有zhen对性de化学处理,以增qiang对teding污ran物de吸附能力。

      过滤器供ying商有时还要提供相yingdexianchang检测服务,以bang助觤ei穌ing化学过滤器de使yong情况,这jiu要求供ying商中有搞化学过滤de专jia,并与权威实验室有密切deguan系。yi憾de是国内过滤厂商mei有几jia在na上面下功夫,所以国内芯片厂目qian使yongde化学过滤器duo数是进口产品。 

  bandao体工ye并fei“无yan工yeao灿谢肪澄侍狻a里经常采yong最新de工yi和cai料,觴ing┗锲吩谄鋋n全性蓌ing磀e到评guqianjiu已经大量使yongliao。为降低环境风险,觴ing┬酒e排风系统也zhuang有化学过滤器。  

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