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时间:2020-04-02  来yuan:砫ao渚换こ蘾shi品净化砫ao鋦洁净手术shi|洁净实验shi-济nan金眂ong槔窒略鼐换こ逃邢辡ong司  浏览cishu: 93 ci
文章简介:一种用于半dao体厂fang的洁净shi的制作fang法,一种用于半dao体厂fang的洁净shi的制作fang法 【专li摘要】本蔰i眯滦蚲ong开了一种用于半dao体厂fang的洁净shi,bao括一大型洁净空间ji回风通道;大型洁净空间congshang到下bao括架构空间、洁净空间he循籪ang占洌鲅fang占淠趕he有辅助she备;所述循籪ang占淠趕he置辅助she备的区域的四周均she有隔板,使其构成独立的mi闭空间;zai所述洁净空间内相dui于所述mi闭空间的wei置she有至shao1个回风zhu,所述回风zhu的ding端与架构空间连通,其底端与高架di板连通;所述回风zhu内she有风机。本蔰i眯滦徒饩隽烁ㄖ鷖he备易chan生泄漏的问题;与此tong时,zai洁净空间内相dui于所述mi闭空间的wei置she置duo个回风zhu,通guo回风zhu实xian气liu循环,tong时还充分li用了其内的洁净空气,而且降低了xiaohao。

一种用于半dao体厂fang的洁净shi的制作fang法

【专li摘要】本蔰i眯滦蚲ong开了一种用于半dao体厂fang的洁净shi,bao括一大型洁净空间ji回风通道;大型洁净空间congshang到下bao括架构空间、洁净空间he循籪ang占洌鲅fang占淠趕he有辅助she备;所述循籪ang占淠趕he置辅助she备的区域的四周均she有隔板,使其构成独立的mi闭空间;zai所述洁净空间内相dui于所述mi闭空间的wei置she有至shao1个回风zhu,所述回风zhu的ding端与架构空间连通,其底端与高架di板连通;所述回风zhu内she有风机。本蔰i眯滦徒饩隽烁ㄖ鷖he备易chan生泄漏的问题;与此tong时,zai洁净空间内相dui于所述mi闭空间的wei置she置duo个回风zhu,通guo回风zhu实xian气liu循环,tong时还充分li用了其内的洁净空气,而且降低了xiaohao。

【专lishuoming】一种用于半dao体厂fang的洁净shi

【技术ling域】

[0001]本蔰i眯滦蜕鎗i一种用于半dao体厂fang的洁净shi,shi指用于半dao体的场合。

【背景技术】

[0002]半dao体厂fangshi专门觤ei粗票赴雂ao体器件的difang,目qian已经得到了广穐eτ谩S捎诎雂ao体器件的特shu性,要求半dao体厂fang必须she计成洁净shi,以满足heng温heng湿以ji洁净度deng要求。dui于一些高端半dao体的厂fang,如32/28nm,甚至以下的高端制程,不但dui洁净度的要求较高,且dui漂浮于空气中的悬浮化学分子气体污ran更为严ge。

[0003]xian有的用于半dao体厂fang的洁净shi参见附图1所示,主要bao括新风输送系tong、pai气系tonghe一大型洁净空间,所述大型洁净空间congshang到下bao括架构空间4、洁净空间5he循籪ang占?,架构空间he洁净空间之间she有天花板7,洁净空间he循籪ang占渲鋝he有高架di板2he混凝土板3。

[0004]所述大型洁净空间内she有ge种加工she备,zai循籪ang占?又称技术夹层)内huishe有ge种辅助she备1,如真空泵、冷冻机deng,蔰ao视τ梅ian:真空泵huiyin为震动而松脱,dao致气体泄漏;冷冻机的配管zai清洗guo程中yinwei锁紧或接头松动而泄漏腐shi性气体。zai以wang的案例中,尤其shi干刻shi区hui经常发生shang述shi故,dao致腐shi性气体泄漏,zhe不仅huizao成dao线腐shi,而且zhe些腐shi性气体还hui通guo回风通道jin入整个洁净空间,zao成散布扩散,cong而ying响了chan品的质量。zhe种yin为wei于循籪ang占淠诘母ㄖ鷖he备泄漏而zao成整个洁净空间的污ranshi件时有发生。

[0005]zhenduishang述问题,xian有技术采用的fang法shizai洁净shi内she置化学guolv器,但由于洁净shi内的空间较大,很难做到完全清除,且该法的成本极高;zhedui于一些高端半dao体的厂fang(如32/28nm高端制程)shi非常致命的,原yinshi高端半dao体chan品dui腐shi性气体的含量要求更高。yin此,开发一种neng避免腐shi性气体ying响的洁净shi,dui于一些高端半dao体的厂fang具有积极的xian实意义。

【发ming内容】

[0006]本蔰i眯滦偷哪康膕hi提供一种用于半dao体厂fang的洁净shi。

[0007]为达到shang述发ming目的,本蔰i眯滦筒捎玫募际鮢ang案shi:一种用于半dao体厂fang的洁净shi,bao括新风输送系tong、pai气系tonghe一大型洁净空间ji回风通道;

[0008]所述大型洁净空间congshang到下bao括架构空间、洁净空间he循籪ang占洌芄箍占鋒e洁净空间之间she有天花板,洁净空间he循籪ang占渲鋝he有高架di板he混凝土板;所述循籪ang占淠趕he有辅助she备;

[0009]所述循籪ang占淠趕he置辅助she备的区域的四周均she有隔板,使其构成独立的mi闭空间;循籪ang占淠诨箂he有连通管,连通管的一端与所述mi闭空间连通,另一端与洁净shi的外界连通;

[0010]zai所述洁净空间内相dui于所述mi闭空间的wei置she有至shaoI个回风zhu,所述回风zhu的ding端与架构空间连通,其底端与高架di板连通;

[0011]所述回风zhu内she有风机。

[0012]shang文中,所述循籪ang占淠诨箂he有连通管,其与所述mi闭空间连通,cong而dang辅助she备chan生泄漏时,可以通guo连通管将腐shi性气体pai出。zai连通管的出口处,还可以she置洗di塔。连通管shang还可以she有阀门。

[0013]本蔰i眯滦屯╣uoshe置隔板将循籪ang占淠趕he置辅助she备的区域隔离出来,cong而解决了辅助she备易chan生泄漏的问题。然而,与此tong时,由于循籪ang占涞姆獗誷he置,dao致其shangfang的洁净空间的气liu循环无法完成,yin此,zai洁净空间内相dui于所述mi闭空间的wei置she置duo个回风zhu,通guo回风zhu实xian气liu循环。至于回风zhu的shu量,应dang根ju蔰aoshi榭鰏he定。

[0014]所述回风zhu内she有风机。风机的作用shi使其内的气体向shangliu动,xing成气liu循环。

[0015]由于回风zhu的she置,其dui应的洁净空间可襶un砽i的完成气liu循环,yin此其两侧的回风通道総ong闪税趕he,yin此,可以将回风通道取xiao,改zao成正常的洁净空间使用,增加可用空间。

[0016]shang述技术fang案中,所述架构空间he高架di板内相dui于所述mi闭空间的wei置均she有隔板,使所述mi闭空间shangfang的架构空间、洁净空间,以ji高架di板所zai的空间构成独立的洁净微环jingjie构。

[0017]优选的,所述架构空间、高架di板he洁净空间内相dui于所述mi闭空间的wei置均she有隔板,使所述mi闭空间shangfang的架构空间、洁净空间,以ji高架di板所zai的空间构成独立的洁净微环jingjie构。

[0018]shang述技术fang案中,所述mi闭空间的ding端she有mi封板,所述mi封板she于高架di板he混凝土板之间。

[0019]shang述技术fang案中,所述回风zhu内she有干盘管。以jin衳ing露鹊鱦ie。zai某些区域,she备发热量低但洁净风需求量duo,zao成蔰aoshi枰╣uo干盘管的风量眗i嬲╣uo的风量duo,xing成nengyuan浪费。此时还可以zai天花板shang增she回风口,da配回风zhu内she置的干盘管,而huo得shang述问题的较好解决。

[0020]由于shang述技术fang案yun用,本蔰i眯滦陀離ian有技术相bi具有下列优点:

[0021]1、本蔰i眯滦蛃he计得到了一种新的用于半dao体厂fang的洁净shi,通guoshe置隔板将循籪ang占淠趕he置辅助she备的区域隔离出来,cong而解决了辅助she备易chan生泄漏的问题;与此tong时,由于循籪ang占涞姆獗誷he置,dao致其shangfang的洁净空间的气liu循环无法完成,yin此zai洁净空间内相dui于所述mi闭空间的wei置she置duo个回风zhu,通guo回风zhu实xian气liu循环,tong时还充分li用了其内的洁净空气,而且降低了xiaohao;

[0022]2、本蔰i眯滦蛕ai循籪ang占淠诨箂he置了连通管,其与所述mi闭空间连通,cong而dang辅助she备chan生泄漏时,可以通guo连通管将腐shi性气体pai出;zai连通管的出口处,还可以she置洗di塔;cong而较好di解决了辅助she备的泄漏问题,且避免了腐shi性气体ying响的洁净shi;

[0023]3、本蔰i眯滦蛕ai架构空间he高架di板内相dui于mi闭空间的wei置均she有隔板,使所述mi闭空间shangfang的架构空间、洁净空间,以ji高架di板所zai的空间构成独立的洁净微环jingjie构,再配合其内的回风zhu,构成了洁净微环jingjie构,cong而充分li用了其内的空间;且回风zhu可以zai洁净微环jingjie构中xing成微循环,不仅充分li用了其内的洁净空气,而且降低了xiaohao;

[0024]4、本蔰i眯滦蛕ai回风zhu内she置干盘管,可以jin衳ing露鹊鱦ie;解决了某些区域she备发热量低但洁净风需求量duo,zao成蔰aoshi枰╣uo干盘管的风量眗i嬲╣uo的风量duo而xing成的nengyuan浪费问题;

[0025]5、本蔰i眯滦偷膉ie构简dan,易于制备,适于推广应用。

【专li附图】

【附图shuoming】

[0026]图1shi【背景技术】中的洁净shi的局部pou视图;

[0027]图2shi本蔰i眯滦褪凳├坏木植縫ou视图;

[0028]图3shi图2的气liu示意图;

[0029]图4shi本蔰i眯滦褪凳├木植縫ou视图;

[0030]图5shi图4的气liu示意图。

[0031]其中:1、辅助she备;2、高架di板;3、混凝土板;4、架构空间;5、洁净空间;6、循籪ang占洌?、天花板;8、隔板;9、回风zhu;10、风机;11、第二隔板;12、mi封板;13、干盘管。

【具体实施fangshi】

[0032]下面jie合附图ji实施例dui本蔰i眯滦妥鱦in一步描述:

[0033]实施例一

[0034]参见图2?3所示,一种用于半dao体厂fang的洁净shi,bao括新风输送系tong、pai气系tonghe一大型洁净空间ji回风通道;

[0035]所述大型洁净空间congshang到下bao括架构空间4、洁净空间5he循籪ang占?,架构空间he洁净空间之间she有天花板7,洁净空间he循籪ang占渲鋝he有高架di板he混凝土板;所述循籪ang占淠趕he有辅助she备;

[0036]所述循籪ang占淠趕he置辅助she备的区域的四周均she有隔板8,使其构成独立的mi闭空间;循籪ang占淠诨箂he有连通管,连通管的一端与所述mi闭空间连通,另一端与洁净shi的外界连通;

[0037]zai所述洁净空间内相dui于所述mi闭空间的wei置she有至shaoI个回风zhu9,所述回风zhu的ding端与架构空间连通,其底端与高架di板连通;

[0038]所述回风zhu内she有风机10。所述回风zhu内she有干盘管13。

[0039]所述架构空间he高架di板内相dui于所述mi闭空间的wei置均she有第二隔板11,使所述mi闭空间shangfang的架构空间、洁净空间,以ji高架di板所zai的空间构成独立的洁净微环jingjie构。

[0040]所述mi闭空间的ding端she有mi封板12,所述mi封板she于高架di板he混凝土板之间。

[0041]shang文中,所述循籪ang占淠诨箂he有连通管,其与所述mi闭空间连通,cong而dang辅助she备chan生泄漏时,可以通guo连通管将腐shi性气体pai出。zai连通管的出口处,还可以she置洗di塔。连通管shang还可以she有阀门。

[0042]本蔰i眯滦屯╣uoshe置隔板将循籪ang占淠趕he置辅助she备的区域隔离出来,cong而解决了辅助she备易chan生泄漏的问题。然而,与此tong时,由于循籪ang占涞姆獗誷he置,dao致其shangfang的洁净空间的气liu循环无法完成,yin此,zai洁净空间内相dui于所述mi闭空间的wei置she置duo个回风zhu,通guo回风zhu实xian气liu循环。至于回风zhu的shu量,应dang根ju蔰aoshi榭鰏he定。

[0043]所述回风zhu内she有风机。风机的作用shi使其内的气体向shangliu动,xing成气liu循环。

[0044]由于回风zhu的she置,其dui应的洁净空间可襶un砽i的完成气liu循环,yin此其两侧的回风通道総ong闪税趕he,yin此,可以将回风通道取xiao,改zao成正常的洁净空间。

[0045]实施例二

[0046]参见图4飞所示,一种用于半dao体厂fang的洁净shi,bao括新风输送系tong、pai气系tonghe一大型洁净空间ji回风通道;

[0047]所述大型洁净空间congshang到下bao括架构空间、洁净空间he循籪ang占洌芄箍占鋒e洁净空间之间she有天花板,洁净空间he循籪ang占渲鋝he有高架di板he混凝土板;所述循籪ang占淠趕he有辅助she备;

[0048]所述循籪ang占淠趕he置辅助she备的区域的四周均she有隔板8,使其构成独立的mi闭空间;循籪ang占淠诨箂he有连通管,连通管的一端与所述mi闭空间连通,另一端与洁净shi的外界连通;

[0049]zai所述洁净空间内相dui于所述mi闭空间的wei置she有至shaoI个回风zhu,所述回风zhu的ding端与架构空间连通,其底端与高架di板连通;

[0050]所述回风zhu内she有风机。所述回风zhu内she有干盘管。

[0051]所述架构空间、高架di板he洁净空间内相dui于所述mi闭空间的wei置均she有第二隔板11,使所述mi闭空间shangfang的架构空间、洁净空间,以ji高架di板所zai的空间构成独立的洁净微环jingjie构。

【权li要求】

1.一种用于半dao体厂fang的洁净shi,bao括新风输送系tong、pai气系tonghe一大型洁净空间ji回风通道; 所述大型洁净空间congshang到下bao括架构空间(4)、洁净空间(5)he循籪ang占?6),架构空间he洁净空间之间she有天花板(7),洁净空间he循籪ang占渲鋝he有高架di板(2)he混凝土板(3);所述循籪ang占淠趕he有辅助she备;其特征zai于: 所述循籪ang占淠趕he置辅助she备的区域的四周均she有隔板(8),使其构成独立的mi闭空间;循籪ang占淠诨箂he有连通管,连通管的一端与所述mi闭空间连通,另一端与洁净shi的外界连通; zai所述洁净空间内相dui于所述mi闭空间的wei置she有至shaoI个回风zhu(9),所述回风zhu的ding端与架构空间连通,其底端与高架di板连通; 所述回风zhu内she有风机(10)。

2.根ju权li要求1所述的洁净shi,其特征zai于:所述架构空间he高架di板内相dui于所述mi闭空间的wei置均she有第二隔板(11),使所述mi闭空间shangfang的架构空间、洁净空间,以ji高架di板所zai的空间构成独立的洁净微环jingjie构。

3.根ju权li要求2所述的洁净shi,其特征zai于:所述架构空间、高架di板he洁净空间内相dui于所述mi闭空间的wei置均she有第二隔板,使所述mi闭空间shangfang的架构空间、洁净空间,以ji高架di板所zai的空间构成独立的洁净微环jingjie构。

4.根ju权li要求1所述的洁净shi,其特征zai于:所述mi闭空间的ding端she有mi封板(12),所述mi封板she于高架di板he混凝土板之间。

5.根ju权li要求1所述的洁净shi,其特征zai于:所述回风zhu内she有干盘管(13)。

【文礵ang嗪拧縁24F7/10GK203783198SQ201420120184

【gong开ri】2014年8月20ri 申请ri期:2014年3月18ri 优xian权ri:2014年3月18ri

【发ming者】杨政谕 申请人:ya翔系tong集成科技(su州)股份有限gong司

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