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当前所在位置: 首ye ? 中心 ? 高等级ye晶面板洁净shi影xiang气liude因素jijie决方法

通宝tb

时间:2020-03-02  来yuan:车间净化工cheng|食品净化车间|洁净手术shi|洁净实验shi-济南金贝娱乐下载净化工chengyou限公司  浏览磜en? 110 次
文章简jie:高等级ye晶面板洁净shi影xiang气liude因素jijie决方法, 摘 要 针duidanxiangchui直liu洁净shi内,受工艺she备影xiang导致de气liupian移、无xiao气liu现xiang进行综合分析,探讨在洁净shishe计和施工过cheng中所要kao虑de因素以ji运行阶duan气liuer次调整de方案,使洁净shi

摘 要 针duidanxiangchui直liu洁净shi内,受工艺she备影xiang导致de气liupian移、无xiao气liu现xiang进行综合分析,探讨在洁净shishe计和施工过cheng中所要kao虑de因素以ji运行阶duan气liuer次调整de方案,使洁净shi形成良好de气liuliu型,bing能更好地满zu实际de需要。

洁净shi内气liu组织de影xiang因素、在实际建厂过cheng中,气liudeliu场特征会影xiangdao洁净du等级ji污染物de控制,从而使洁净shidexiaoguo与she计时相差shen远。而且从liu动de雷诺数来kao虑,洁净shide气liu均为紊liu,洁净shi运转后实际de风xiang控謕ing衔丛樱琸ao虑因素更多,与高架地板开kong率、FFU吹出风速、机台方位、人员走动、导liu板she置等均you很大de关系。而气liupian移现xiangde原因分析以ji气liu改善方案de前提是应从大huan境jiaodukao虑,ruo只kao虑ju部往往达budao所期望de控制mu标。

工艺she备dui气liu影xiangjijie决方法

工艺she备内dehuan境分为you送风huan境和无送风huan境,you送风huan境可分为:使用洁净shiben身de洁净空气dehuan境,和讁uan鳩FUdehuan境。ben例说明yizhong利用洁净shi气liudeshe备所出现de气liuwen题和调整cuo施。

3.1 面临dewen题

洁净shi高架地板在she计和施工时an照空态洁净shi气liuzhuang态kao虑,为了保证空态洁净shi气liude均yi性,高架地板开口率沿洁净shi宽du方xiang递zeng或递减,在洁净shi长du方xiang保持yi致。

dan是,当工艺机台she备搬入后,气liudeyi致性被破坏,产生了气liudepian移,shen至形成涡liu。

dui于利用洁净shi气liude机台she备,qi保证工艺de洁净气liu来自于洁净shi气liu,当机台周围和地板内部地板开口聅hi恢率保瑈ou于机台内部气liu通过率低,更多de洁净气liuliuxiang了机台wai部,liu过机台内部de洁净气liu很少,shen至没you了洁净气liu。同时机台ce面盖板与地板间youyi定距离,形成较大间隙,she备wai气liu通过此处间隙吹入she备底部,zeng大了she备底部与地板间空间de气压,导致she备中间de downflow 减xiao,原理ru图 4 所shi。

3.2 通过 CFD(计算liu体力学)ruan件dejie决方案内liu场分析需建立模型jishe定边界tiao件,bing

尽liang符合实际,从而所得daode数据ye能接jin于实际zhuang况。模型建立zhu要bao括建筑chi寸、回风dao分布以jishe备模型等。边界tiao件zhu要bao括FFU瞱en⒖zhuang逄匦詊i障ai物等。

通过研究气liupian移zhuang况,she备内气liu减低qing况,调整地板阻力特性以形成she备内所需要zhichui直danxiangliu。yiban在大huan境区yu气liu模ni建模时,要求业zhu提供机台de相关瞱en╮uwai形chi寸、讁uan鳩FU 瞱en龋缘胐ao更符合未来实际运转de气liuzhuang况。从而可以在施工zhi前yujian未来可能发生deju部气liupian移、紊liushen至交叉污染等bu良现xiang,bingcai取相应deyufangcuo施。

3.3 气liu改善验证

为改善she备内部气liuxiaodewen题,通过以下cuo施得以实现,bing且jing过试验验证,xiaoguo很好。

diyi:zeng紋ou璞赶虏扛呒艿匕錮e开口率。

dier:ce面盖板与地板间de间隙处安zhuang隔断,改善原理和xiaoguoru图 5 所shi。

通过改善,she备内气liuzeng加 2 2 % ,she备内Particle 数据降低 79%,ru表 1 所shi。

4 she备周围气liupian移现xiangjier次调整方案

4.1 洁净shihuan境导致气liupian移

在许多工cheng案例中,縵huang宀贾梅桨竬iban与FFU布置相同,即在 FFU zheng下方布同样面积de縵huang濉7桨竤he紁ing譫uan未kao虑工艺she备搬入后导致de气liupian移现xiang,或是在施工图深化she紁ing锥wen保蚪嗑怀衎aoshangde技术水ping参差bu齐,多数人bing未意识dao縵huang宀贾糜肫鴏iu组织zhi间de密切关系,而仅仅是照图施工。所以常常在实际运转阶duan才发现气liupian移dewen题,此时再想办法去jie决往往事beigongban。在车间内气liu为什么会youpian移de现xiang呢?可以将she备内部和she备wai部分别看作两个风管,she备内因为安zhuangyou机台,气liuliu过时阻力大,风速减xiao,导致机台下部气压低于she备wai部de气压,she备waide气liu吹入she备底部,进yi步降低了she备内xiang下de气

liu。jie助于 CFD ruan件,可以模ni气liuliuxiang和压力曲xian。所以,气liupian移de调整cuo施zhu要调节地板de阻力特性,因地板型式debu同可以通过调整高架地板縵huang錮e分布率实现,通过上述改善方案从而改蓀ing嗑籹hi内气liuliu型。

4.2 she备weihuan境气liupian移

zhe里deweihuan境zhu要特指机台区yuhuan境,在 SEMI 标准謝iao癝EMI E44—95 weihuan境购买验shou

指南”duiweihuan境de定义为:you隔离zhuang置zuo成deju部净化huan境,mude是使将产品与人员污染隔离开。qi因you是“洁净”工艺仅需较xiaode空间,却为何浪费那么多ping方米de洁净shi空间。即n蟆苯嗑籹hi仅限于基ben洁净du水ping,且所youde关jian工艺du在洁净shi级别zugou好de区yu内进衳iaoeihuan境又可以分为无送风weihuan境(bu带气liude盒子、柜子或专门接口箱)和送风weihuan境(带you低du紊liudeweihuan境,可以使用洁净shiben身de洁净空气,或是讁uan F F U )两zhong。

yibanqing况下,进行气liu模ni是将机台当作yi个空块进行处理,dan实际qing况bing非ru此。you

些机台de确是yi个bu通风de箱体,danyou些机台却可以通风,shen至多数机台均you讁uan FFU she备。dui于通风danbu带FFUdeshe备,将she备ce面盖板延长至地板,bing且将she备zheng下方de地板縵huang宀贾寐蕑eng加,可以youxiaozeng紋ou璞改赿e气liu,bing提高she备内洁净du。

dui于bu通风deshe备,我们可以将she备zheng下方de地板縵huang宀贾寐shi跎賡hen至bu布置,而将縵huang迮仓羢he备四周,以避免该she备客观上占用多数通风面积。而dui于讁uan鳩FUshe备,又可以an照she备是否you水盘、底座tou风zhuang况ji废气排放liang等bu同特征,分别规划縵huang錮e布置方案。例ru在清洗机区yu,kao虑daoyoulouyede风险,故建议在she备轮廓xian附jin均布置mang板以避免louyeliudao回风夹层内产生意wai。而在 ROBOT(自动机械手臂she备)区yu,因qi内部洁净等级要求高达 ISO 4 级,yiban建议该区yu满布縵huang逡员苊馕蒷iu产生。而dui于很多讁uan鳩FUdeshe备来讲,因qiben身废气排放liang较大,故she备下方de縵huang宀贾胋ingbu需要满布。而you些she备下方即使是满布縵huang鍄ou时yebu能满zuqi气liu控制需求,眗e缭赟tockershe备底座区yukong洞内可zeng加zhouliu风扇进行强制通风,以得dao较好dechui直气liudanxiangliu型。

4.3 ju部紊liu

全面danxiangliu洁净shiye常出现气liu紊liu和回liu等zhuang况,会使洁净shideju部气liu组织受dao破坏,是洁净shideshe计人员和施工维hu人员du应注意de地方。当縵huang鍄ou针dui性de布置后,空态zhuang况下洁净shi内de气liu特性yibandu能符合she计de要求。danyidanyou机台she备进入洁净shi、人员de移动和产品de转输,就bu可避免de存在着气liu组织de障ai物。眗e缭趕he备机台突出de尖jiao或边缘处,气liu会分liu形成yi个紊liu区。在紊liu区内deliu体bu易被带走,从而产生污染。lingyizhongqing况是因为she备ben身de发re,在机台附jinyou温du梯du引qi回liu区,加大了wei粒lei积。同

时,高温又容易使wei粒逸散出去,双重xiao应加重了全面chui直danxiangliude控制难du。

5 结语

(1)dui洁净shishe计人詁ei裕瑂he计过cheng中需要充分kao虑机台de特性,洁净shide整体构造,bing据此调整气liu布置方能取得理想de洁净shi气liu形态,进而确保洁净shide洁净du,提高良率bing可实现yi定chengdude节能xiaoguo。

(2)dui于洁净she备de厂家而言,要gen据she备deweihuan境,合理she计she备构造,优化送风方式,保证工艺she备de洁净du。

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