謝ing命/h1>

联系我们

济南金贝娱乐下载净化工程有xian公司

电话(传zhen):0531-68824415
手  机:13854165330

Q    Q:340095748 

联系人:张经li
邮  bian:250024
邮  箱:[email protected]
地  址:山东省济南市天qiao区新徐居委hui黄he建邦大qiao西侧1-6号

万达平台

时jian:2020-03-01  lai源:车jian净化工程|食品净化车jian|洁净蕑hi跏襹洁净shi验室-济南金贝娱乐下载净化工程有xian公司  浏纋ai问? 158 次
文章简介:bai级洁净蕐i魑⒌髡桨福 摘yao:针对全面danxiang垂zhi流的bai级洁净室na的气流偏yi现象进xing综hefen析,探讨在洁净室施工图深化设计zhongsuoyao考虑的yin素以及气流二次调整的dianxing方案,使洁净室形成较好的气流流xing并能geng

摘yao:针对全面danxiang垂zhi流的bai级洁净室na的气流偏yi现象进xing综hefen析,探讨在洁净室施工图深化设计zhongsuoyao考虑的yin素以及气流二次调整的dianxing方案,使洁净室形成较好的气流流xing并能geng好的满zushi約hi膞uyao。

关键ci:洁净室; 气流组zhi; 室ya; 微环境

0 引言

jinshi年以lai,电子工ye洁净室ji术在ji术和经济shang都经历了kuai速发zhan。te别是ban导体工ye和光电chanye用gaobiaozhun洁净室changchang成为洁净室ji术发zhan的biaozhi。在此领域na,对chan苀en柿康膟ao求一zhi在提gao,对洁净环境的yao求ye是ru此。糲i故怯筛髦謆u同yin素造成的最小污ran,te别是气流组zhibuliang的环境yin素,yehui导致gao比例的有缺陷chan品及废品lv[3]。yin此,必须将ying响chan苀en柿康幕肪硑in素jiang至最小,保证you化工yi成本,提sheng制程lianglv。

本文zhuyao针对全面danxiang垂zhi流洁净室na的气流偏yi现象进xing综hefen析,探讨在洁净室施工图深化设计zhongsuoyao考虑的yin素以及气流二次调整的dianxing方案,使洁净室形成较好的气流流xing并能geng好地满zushi約hi膞uyao。

1 全面danxiang垂zhi流洁净室

li想的全面danxiang垂zhi流洁净蕐e钠髯閦hi为shang送下回(ru图1suo示),其室na空气洁净度gao、相互污ran少,被设bei污ran的空气能很kuai地排出,防zhi微粒扩san,

地面积尘较少,自净能力强,室na任何地方都能达到suo

yao求的洁净度等级,布置设bei方便[1]。

2 洁净室na气流组zhi的ying响yin素

在shi际建changguo程zhong,气流的流场te征huiying响到洁净度等级及污ranwu的控制,从而使洁净蕐e膞iao果与设紁ou毕郼ha甚远[1]。而且从流动的雷诺数lai考虑,洁净蕐e钠鱦un为紊流[4],洁净室运转后shi約hi姆鐇iang控制较为复杂,考虑yin素gengduo,与gao架地板开孔lv、FFU吹出风速、机台方位、人员走动、导流板设置祌an泻艽蟮墓叵怠6髌珁i现象的原yinfen析以及气流改shan方案的前提是应从大环境角度考虑,若只考虑局部往往达bu到suo期望的控制目biao。

3 gao等级大空jian洁净蕐i鞔嬖诘奈蕋i及jie决方法

3.1 面临的问ti

在gao蔿ai拿姘錭hanghuo芯片chang,te别是现在luxu在建的8.5G面板chang,chang房dan层洁净区面积最gao已接jin80 000m2。chang房的宽度往往ye超guo100m,回风道的布置bu仅仅是chang房的两侧,而是四周jun有设置以弥补回风面积的buzu,故其气流控制geng为复杂。这li借助于计suan机相关软件,甚至是gao端电脑pei置对庞大的信息量进xing处li并得到有用的fen析数据。

3.2 通guoCFD(计suan流体力xue)软件的jie决方案

目前,随着计suan流体动力xue(CFD)ji术自身的发zhan,其襶a惴heτ糜谂盏骱徒嗑皇ye裙こ塘煊騕2],CFD软件zhixing的范围zhuyao包kuo整changna部的气流fen析(na流场fen析)和机台na部洁净问tifen析。na流场fen析是在gao新chanyechang房na进xing流场fen析,依模拟结果论证工程设计的可xing性,huo在原有设计的基础shang提出you化设计的xiu改意jian。机台na部洁净问tifen析是在gao新企ye的guo程zhongchangchang由于微污ran而导致lianglv下jiang,可将CFDfen析手段与gao新chanye工yi制程相关知识结he在一qi,为问ti的确定提供依据。

na流场fen析xu建li模xing及设定边界条件并尽量符heshi际,从而suo得礿iang氖輞e能接jin于shi际zhuang况。模xing建lizhuyao包kuo建筑尺cun、回风道fen布以及设bei模xing祋u1呓缣跫huyao包kuoFFUcan数、孔板te性及zhang碍wu等定。通guo研究各区之气流偏yizhuang况,fen区调整地板阻力te性以形成洁净房suoxuyao之垂zhidanxiang流。一般在大环境区域气流模拟建模时,yao求yezhu提供机台的相关can数(ru外形尺cun、自带FFUcan数等),以得到geng符he未laishi际运转的气流zhuang况。从而可以在施工之前预jian未lai可能发sheng的局部气流偏yi、紊流甚至交叉污ran等buliang现象,并caiqu相应的预穕ai胧Ⅻ/p>

4 洁净蕐e鋢ing气流偏yi现象及二次调整方案

4.1 洁净室大环境气流偏yi

图2suo示为dianxing的全面danxiang垂zhi层流的chang房pou面示意图,在远离回风道侧的气流往左偏yi。在许duo工程案例zhong,孔板布置方案一般与FFU布置相同,即在FFUzheng蟣u讲纪瑈ang面积的孔板。可能原yin是方案设计阶段未考虑气流偏yi现象,huo是在施工图深化设计阶段时,yin洁净承包商的ji术水平cha次bu齐,duo数人并未意识到孔板布置与气流组zhi之jian的密切关系,而仅仅是照图施工。suo以changchang在shi际运转阶段时cai发现气流偏yi的问ti,此时再想办法去jie决往往事倍功ban。

那在车jianna气流为什么hui有偏yi的现象呢?

可以将以下ji术jia层(RAP)看做一支大风管,而风通guo风管时yin管lu本身的摩擦hui形成沿程阻力损失。yejiu是说,离回风道越jin的点suoxuyao克服的阻力值越小。借助于CFD软件,可以模拟出RAP层室ya随着回风距离而变化的ya力曲线。其謝ie匕遄枇ο凳酱螅髑鴆haya越明xian。同时,yehuiyin为yin机台占地面积duo寡以及RAP层yinpei管引qi觴ingǚ缍厦娴募跣。琷unhui造成各区chaya的bu平衡。当回风经guo地板的阻力bu同时,jiuhuichanshengya力cha,从而使空气xiang阻力小的方xiang流动,形成了气流偏yi。

suo以,大环境气流偏yi的调整措施zhuyao调节地板的阻力te性,yin地板xing蔶iang腷u同可以通guo调整gao架地板孔板的fen布lvhuowaffer slab开孔pei置shi现,ru图4suo示,通guoshang述改shan方案从而得到li想的洁净室na气流流xing。

对于制程设bei的具体构造,洁净包设计人员并bu能了jie的很清楚。有Waffle Slab层之无尘室欲xiuzheng气流平xing度,由改变孔板fen布之xiao果有xian,若yao调整气流平xing度则须由Waffle Slab(华夫板)层之开孔fen布lv着手,否则靠jinDry Coil(干式盘管)侧将yinFab层与RAP层jianyachaguo大造成Waffle Slabna气流侧xiang流动,尤其在bu同级区jianzhuang况geng为明xian,严重者甚至造硈hanglu狡鞣从蒞affle Slab层流入Fab层。

4.2 微环境气流偏yi

这li的微环境zhuyaote指机台区域环綾hang赟EMIbiaozhunzhong“SEMI E44- 95微环境购买验收指南”对微环境的定yi为e筛衾胱爸米龀傻木植炕肪chang康氖鞘菇玞han品与人员污ran隔离开[3]。其yin由是“洁净”工yi仅xu较小的空jian,却为何lang费那么duo平方米的洁净室空jian[3]。即“大”洁净室仅xian于基本洁净度水平,且suo觴ie墓丶i都在洁净室级别zu够好的区域na进xing。微环境又可以fen为无送风微环綾hang╞u带气流的he子、gui子huo专门接口箱) 和送风微环綾hangùxie投任闪鞯奈⒒肪chang梢允褂媒嗑皇冶旧淼慕嗑豢掌琱uo是自带FFU)两种。

一般情况下,进xing气流模拟是将机台当作一个空块进xing处li,但shi际情况并非ru此。觴ing┗ǖ娜肥且桓鯾u通风的箱体,但觴ing┗ㄈ纯梢酝ǚ纾踔羋uo数机台jun有自带FFU设bei。对于bu通风的设bei,我们可以将设beizheng蟣ujiang牡匕蹇装宀贾胠v减少甚至bu布置,而将孔板挪至设bei四周,以避免该设bei客观shang占用duo数通风面积。而对于自带FFU设bei,又可以依造设bei是否有水盘、底座透风zhuang况及废气排放量等bu同te征,穤hi鸸鎕ua孔板的布置方案。例ru在清洗机区域,考虑到有漏液的风险,故建议在设bei轮廓线附jinjun布置盲板以避免漏液流到回风jia层nachansheng意外。而在ROBOT(自动机xie蕑hi凵鑒ei)区域,yin其na部洁净等级yao求gao达Class 10,一般建议该区域满布孔板以避免紊流chansheng。而对于很duo自带FFU的设beilai讲,yin其本身废气排放量较大,故设bei蟣ujiang目装宀贾貌uxuyao满布。而觴ing┥鑒ei蟣u郊ci故锹伎装逵惺眣ebu能满zu其气流控制xu求,比ru在Stocker设bei底座区域孔洞na可增加轴流风扇进xing强制通风以得到较好的垂zhi气流danxiang流xing。

4.3 局部紊流

全面层流洁净室yechang出现气流紊流和回流等zhuang况,hui使洁净蕐e木植科髯閦hi受到破坏,是洁净蕐e纳杓迫嗽焙褪┕ei护人员都应注意的地方[1]。当孔板有针对性的布置后,空态zhuang况蟣u嗑皇襫a的气流te性一般都能符he设计的yao求。但一旦有机台设bei进入洁净室、人员的yi动和chan品的转输时,jiubu可避免的存在着气流组zhi的zhang碍wu。比ru在设bei机台突出的jian角huo边缘处,气流huifen流形成一个紊流区[1]。在紊流区na的流体bu易补送入气体带走,从而chansheng污ran。ling一种情况是yin为设bei本身的发热,在机台附jin由温度ti度引qi回流区,加大了微粒累积。同时,gao温又容易使微粒逸san出去,双重xiao应加湿了全面垂zhi层流的控制难秖uuai有jiu是天花gaodichabu同,以及千级区diFFUfugai聅hi那樾危诳縥in天花处jun有气流紊流的现象。

yin为觴ing┥鑒eixu求洁净度较gao,而设bei本身没有自带FFU,为达到此目biao则建议增加Eyelid(导流垂壁)加以克服。而Eyelidan装时应注意其整体性,bu应留有缝隙否则huichansheng诱导现象以ying响控制区域na的洁净秖uH粲谄鋞a施工及使用考虑时,应依誾hang殖huang况施作

开口并yu以密封(包含连接处之缝隙)。an装时suo留下之孔隙在FFU为非满布之zhuang况下运转时,由于FFU出风诱导xiao应之ying响,将造成级区区hua外之气流吸入至区huana。在尘度gao之制程区hua,以此方式施作hui有尘度离异之问tiEyelid之应用应peihe满布之FFU进xing级区区hua,若为成本考虑而cai用其taFFUpei比时应注意区huana紊流之程度,以buying响级区洁净度为原则。

5 结语

(1)CFD是一种较好的you化设计工具,结he工程shi际情况,借助模拟工具进xing辅助设计已成必然qu势[2],在深化设计guo程zhong可通guo建模,模拟从而提前发现并jie决一些问ti。

(2)对洁净室设计人员而言,设计guo程謝ing鑩ao充fen考虑机台的te性,洁净蕐e恼骞乖欤⒕荽说髡鞑贾梅侥躴u得li想的洁净蕐i餍翁繁=嗑皇ye慕嗑欢龋醙aolianglv并可shi现一定程度的节能xiao果。

回到洁净知识栏目

can考文献:

[1] yuan旭东,wang科. 全面垂zhi层流洁净蕐i髯閦hiying响yin素探讨[J].制冷与空调,2005,(02):12~16.

[2] zhao金亮,刘俊杰,朱能.gao级别洁净蕐i髯閦hi的you化[J].流体机xie,2005,33,(4):58~61.

[3] 本de.a兰de. 洁净室ji术jin期发zhanqu势及微环境zhan望[J]. 第六jiezhong国国际shang海洁净ji术论蘡hang?003.

[4] 许zhong麟.空气洁净ji术原li[M].shang海:同济大xue出版she,1998.

地址:山东省济南市天qiao区新徐居委hui黄he建邦大qiao西侧1-6号  电话:0531-68824415  传zhen:0531-68824415

版quansuo有:济南金贝娱乐下载净化工程有xian公司    ji术支持:康美科ji     bei案号:鲁ICPbei19040779号    xml地图    html地图    txt地图    登录