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时间:2019-10-12  lai源:车间净化工程|食pin净化车间|洁净手术室|洁净shi验室-济南jin贝娱乐xia载净化工程有限gong司  浏纋aiwen? 217 ci
文章简介:洁净室zhong的wen湿度设定,    洁净空间的wen湿度主yao是根据工艺yao求lai萬anǎ诼愎ひ誽ao求的tiao件xia,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度yao求的提高,出xianliao工艺duiwen湿度的yao求也越lai越严的趋

   洁净空间的wen湿度主yao是根据工艺yao求lai萬anǎ诼愎ひ誽ao求的tiao件xia,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度yao求的提高,出xianliao工艺duiwen湿度的yao求也越lai越严的趋势,这从xia面dui比可以看出。

具体工艺duiwen度的yao求以houhuaiyao列举,但作为总的原则看,you于加工精度越lai越精细,所以duiwen度波动fan围的yao求越lai越小。li如在da规模ji成dianlu的光刻pu光工艺zhong,作为yan膜板材料的bo璃与硅pian的热膨胀系数的chayao求越lai越小。直径100 um的硅pian,wen度上升1度,就引qiliao0.24umxian性膨胀,所以bi须有±0.1度的恒wen,同时yao求湿度值一般较低,因为人出han以hou,dui产pin将有污ran,特bie蕅iao履频陌氲继宄导洌鈠hong车间不宜超过25度。

   湿度过高产生的wen题更多。xiangdui湿度超过55%时,冷萩i甮uan壁上会结露,如果发生在精密装置或dianluzhong,就会引qigezhong事故。xiangdui湿度在50%时易生xiu。ci外,湿度太高时将通过空气zhong的水分子把硅pian表面粘着的灰尘化学xifu在表面nai难以清除。xiangdui湿度越高,粘fu的难去掉,但当xiangdui湿度低于30%时,又you于静dian力的作用使粒子也容易xifu于表面,同时daliang半导体器件容易发生击穿。dui于硅pian最佳wen度fan围为35—45%。

   人体舒适感一般与xia列因素有关:空气wen度湿度,chui过人体的空气速度,所在空间内gezhong表面wen度,人的huo动强度,生huo习惯,衣着qingkuang,nian龄衴uan鸬取Ⅻ/p>

   上shu几zhong不同因素的组合可以给人以xiang同的冷热感jueji舒适感。在浩净室zhongyou于工作人yuan秊i┙嗑huaiぷ鞣惺県uai穿两套这样的工作服,而洁緃uaiぷ鞣huai墒怯媚崃⒌娜穕iang等制做,透气性较cha,所以洁净定zhong感到较舒蕇hi膚en湿度比一般环境的较低。所以(空气洁净技术措施》jian议除工艺yao求外,洁净室wen度宜采用18—26度,xiangduiwen度则宜用40—60%,夏季取上限,冬季取xia限。

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